中國拿到光刻機(jī)入場券 全世界能夠生產(chǎn)光刻機(jī)的國家只有4個

　　今年是浦東開發(fā)開放30周年。三十年改革潮涌，三十年滄桑巨變，今天的浦東在制度創(chuàng)新、金融、航運(yùn)、貿(mào)易等領(lǐng)域，不斷創(chuàng)造出上海第一、全國第一乃至世界第一。

　　為紀(jì)念浦東開發(fā)開放30周年，中央廣播電視總臺財經(jīng)節(jié)目中心和上�？傉韭�(lián)合推出的六集4K紀(jì)錄片《而立浦東》，于11月13-18日20點(diǎn)檔在紀(jì)實(shí)人文頻道播出。其中第四集講述了中國光刻機(jī)的研發(fā)歷史。

　　每顆芯片誕生之初，都要經(jīng)過光刻機(jī)的雕刻，精度要達(dá)到頭發(fā)絲的千分之一。18年前，全球光刻機(jī)市場只有荷蘭、美國、日本擁有“入場券”，并對中國實(shí)施技術(shù)封鎖。

　　上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司副董事長賀榮明抱著求學(xué)的心態(tài)出國考察，外方工程師的一番話，卻深深刺痛了他的心，“他說，光刻機(jī)不是你有了一種設(shè)計，有了一份圖紙，就可以把它裝起來的東西。我哪怕把所有的圖紙都給你們中國人，其實(shí)你們未必能夠做出光刻機(jī)。”

　　但賀榮明沒有退縮，帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)，從維修零部件開始研發(fā)。對于光刻機(jī)來說，曝光是最關(guān)鍵的環(huán)節(jié)。2007年，研發(fā)團(tuán)隊(duì)迎來了第一次正式曝光。2007年2月8日這一天，五年的堅(jiān)守與付出，終于初見曙光。

　　如今，全世界能夠生產(chǎn)光刻機(jī)的國家，只有4個。中國，依托張江的創(chuàng)新，成為了其中的一員，實(shí)現(xiàn)了從無到有的突破。