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中芯國際77億購買光刻機(jī) 業(yè)內(nèi)關(guān)注是否包含EUV光刻機(jī)?

2021-03-04 13:45:35來源:四海網(wǎng)綜合

  業(yè)內(nèi)關(guān)注:是否包含EUV光刻機(jī)?

  光刻機(jī)在芯片生產(chǎn)中極為關(guān)鍵。其中極紫外光刻機(jī)(EUV)僅有ASML能夠生產(chǎn),這種設(shè)備主要用于生產(chǎn)7納米及更先進(jìn)制程的芯片。

  中芯國際的芯片工藝目前已發(fā)展至14nm,若想將芯片工藝進(jìn)一步提升至7nm乃至3nm等先進(jìn)制程,EUV光刻機(jī)設(shè)備就必不可少。那么,中芯國際此次12億美元的采購協(xié)議都有哪些類型的光刻機(jī),包含EUV光刻機(jī)嗎?

  ASML的EUV光刻機(jī)當(dāng)前主力出貨型號(hào)是3400B,價(jià)格約1.2億美元,其最新款的3600D定于2021年出貨交付。

  中芯國際本次公告并未就光刻機(jī)具體型號(hào)進(jìn)行披露,但本次修訂的訂單或并不包括EUV光刻機(jī)。在2020年年底,中芯國際被美國列入實(shí)體清單時(shí),美國商務(wù)部就特別明確,將原則上拒絕向其出口EUV等支持先進(jìn)制程開發(fā)的技術(shù)。美國在2021年3月1日最新宣布的中芯國際設(shè)備的供應(yīng)許可并不包括EUV光刻機(jī)。

  且有業(yè)內(nèi)資深人士透露,除了EUV光刻機(jī),中芯國際幾乎可以買到其他所有型號(hào)的光刻機(jī),包括DUV(深紫外)光刻機(jī)。

  此前,ASML的CFO在財(cái)報(bào)會(huì)議的視頻采訪中表示:如果寬泛地理解相關(guān)規(guī)則對(duì)AMSL的整體意義,ASML將能夠從荷蘭向中國客戶(包括中芯國際)提供DUV光刻系統(tǒng),且無需出口許可證。不過,如果涉及直接從美國運(yùn)往此類客戶的零件或系統(tǒng),ASML則需要為此申請(qǐng)出口許可證。

  在DUV光刻機(jī)方面,ASML的最新一代產(chǎn)品型號(hào)是NXT 2050i。公開資料顯示,ASML于2020年第三季度對(duì)第一臺(tái)TWINSCAN NXT 2050i進(jìn)行了質(zhì)量認(rèn)證,并于第四季度初發(fā)貨。由于對(duì)掩模版工作臺(tái)、晶圓工作臺(tái)、投影物鏡和曝光激光器的技術(shù)改進(jìn),NXT2050i提供了比其前身更好的套刻精度控制,具有更高的生產(chǎn)率。

  公開報(bào)道顯示,ASML的上一代DUV產(chǎn)品NXT2000i光刻機(jī),光刻精度可以達(dá)到1.9nm,遠(yuǎn)低于5nm要求的2.4nm以及7nm的3.5nm精度。

  不過,考慮到EUV光刻機(jī)對(duì)于研發(fā)和生產(chǎn)先進(jìn)制程芯片的重要性,傳言中芯國際也沒有就此放棄。此前業(yè)界有消息稱,中芯國際在新任副董事長蔣尚義的"牽線下",已經(jīng)開始對(duì)EUV設(shè)備再次進(jìn)行洽談,但中芯國際并未對(duì)此作出官方回應(yīng),具體情況如何尚不得知?梢源_定的是目前美國芯片禁令雖已有所松綁,但對(duì)象僅針對(duì)成熟制程芯片技術(shù)(14納米及以上),EUV光刻機(jī)的獲取仍是敏感話題。

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