中芯國(guó)際77億購買光刻機(jī) 業(yè)內(nèi)關(guān)注是否包含EUV光刻機(jī)？

　　業(yè)內(nèi)關(guān)注：是否包含EUV光刻機(jī)？

　　光刻機(jī)在芯片生產(chǎn)中極為關(guān)鍵。其中極紫外光刻機(jī)（EUV）僅有ASML能夠生產(chǎn)，這種設(shè)備主要用于生產(chǎn)7納米及更先進(jìn)制程的芯片。

　　中芯國(guó)際的芯片工藝目前已發(fā)展至14nm，若想將芯片工藝進(jìn)一步提升至7nm乃至3nm等先進(jìn)制程，EUV光刻機(jī)設(shè)備就必不可少。那么，中芯國(guó)際此次12億美元的采購協(xié)議都有哪些類型的光刻機(jī)，包含EUV光刻機(jī)嗎？

　　ASML的EUV光刻機(jī)當(dāng)前主力出貨型號(hào)是3400B，價(jià)格約1.2億美元，其最新款的3600D定于2021年出貨交付。

　　中芯國(guó)際本次公告并未就光刻機(jī)具體型號(hào)進(jìn)行披露，但本次修訂的訂單或并不包括EUV光刻機(jī)。在2020年年底，中芯國(guó)際被美國(guó)列入實(shí)體清單時(shí)，美國(guó)商務(wù)部就特別明確，將原則上拒絕向其出口EUV等支持先進(jìn)制程開發(fā)的技術(shù)。美國(guó)在2021年3月1日最新宣布的中芯國(guó)際設(shè)備的供應(yīng)許可并不包括EUV光刻機(jī)。

　　且有業(yè)內(nèi)資深人士透露，除了EUV光刻機(jī)，中芯國(guó)際幾乎可以買到其他所有型號(hào)的光刻機(jī)，包括DUV（深紫外）光刻機(jī)。

　　此前，ASML的CFO在財(cái)報(bào)會(huì)議的視頻采訪中表示：如果寬泛地理解相關(guān)規(guī)則對(duì)AMSL的整體意義，ASML將能夠從荷蘭向中國(guó)客戶（包括中芯國(guó)際）提供DUV光刻系統(tǒng)，且無需出口許可證。不過，如果涉及直接從美國(guó)運(yùn)往此類客戶的零件或系統(tǒng)，ASML則需要為此申請(qǐng)出口許可證。

　　在DUV光刻機(jī)方面，ASML的最新一代產(chǎn)品型號(hào)是NXT 2050i。公開資料顯示，ASML于2020年第三季度對(duì)第一臺(tái)TWINSCAN NXT 2050i進(jìn)行了質(zhì)量認(rèn)證，并于第四季度初發(fā)貨。由于對(duì)掩模版工作臺(tái)、晶圓工作臺(tái)、投影物鏡和曝光激光器的技術(shù)改進(jìn)，NXT2050i提供了比其前身更好的套刻精度控制，具有更高的生產(chǎn)率。

　　公開報(bào)道顯示，ASML的上一代DUV產(chǎn)品NXT2000i光刻機(jī)，光刻精度可以達(dá)到1.9nm，遠(yuǎn)低于5nm要求的2.4nm以及7nm的3.5nm精度。

　　不過，考慮到EUV光刻機(jī)對(duì)于研發(fā)和生產(chǎn)先進(jìn)制程芯片的重要性，傳言中芯國(guó)際也沒有就此放棄。此前業(yè)界有消息稱，中芯國(guó)際在新任副董事長(zhǎng)蔣尚義的"牽線下"，已經(jīng)開始對(duì)EUV設(shè)備再次進(jìn)行洽談，但中芯國(guó)際并未對(duì)此作出官方回應(yīng)，具體情況如何尚不得知。可以確定的是目前美國(guó)芯片禁令雖已有所松綁，但對(duì)象僅針對(duì)成熟制程芯片技術(shù)（14納米及以上），EUV光刻機(jī)的獲取仍是敏感話題。