中芯國際77億購買光刻機 業(yè)內(nèi)關注是否包含EUV光刻機？

　　業(yè)內(nèi)關注：是否包含EUV光刻機？

　　光刻機在芯片生產(chǎn)中極為關鍵。其中極紫外光刻機（EUV）僅有ASML能夠生產(chǎn)，這種設備主要用于生產(chǎn)7納米及更先進制程的芯片。

　　中芯國際的芯片工藝目前已發(fā)展至14nm，若想將芯片工藝進一步提升至7nm乃至3nm等先進制程，EUV光刻機設備就必不可少。那么，中芯國際此次12億美元的采購協(xié)議都有哪些類型的光刻機，包含EUV光刻機嗎？

　　ASML的EUV光刻機當前主力出貨型號是3400B，價格約1.2億美元，其最新款的3600D定于2021年出貨交付。

　　中芯國際本次公告并未就光刻機具體型號進行披露，但本次修訂的訂單或并不包括EUV光刻機。在2020年年底，中芯國際被美國列入實體清單時，美國商務部就特別明確，將原則上拒絕向其出口EUV等支持先進制程開發(fā)的技術。美國在2021年3月1日最新宣布的中芯國際設備的供應許可并不包括EUV光刻機。

　　且有業(yè)內(nèi)資深人士透露，除了EUV光刻機，中芯國際幾乎可以買到其他所有型號的光刻機，包括DUV（深紫外）光刻機。

　　此前，ASML的CFO在財報會議的視頻采訪中表示：如果寬泛地理解相關規(guī)則對AMSL的整體意義，ASML將能夠從荷蘭向中國客戶（包括中芯國際）提供DUV光刻系統(tǒng)，且無需出口許可證。不過，如果涉及直接從美國運往此類客戶的零件或系統(tǒng)，ASML則需要為此申請出口許可證。

　　在DUV光刻機方面，ASML的最新一代產(chǎn)品型號是NXT 2050i。公開資料顯示，ASML于2020年第三季度對第一臺TWINSCAN NXT 2050i進行了質(zhì)量認證，并于第四季度初發(fā)貨。由于對掩模版工作臺、晶圓工作臺、投影物鏡和曝光激光器的技術改進，NXT2050i提供了比其前身更好的套刻精度控制，具有更高的生產(chǎn)率。

　　公開報道顯示，ASML的上一代DUV產(chǎn)品NXT2000i光刻機，光刻精度可以達到1.9nm，遠低于5nm要求的2.4nm以及7nm的3.5nm精度。

　　不過，考慮到EUV光刻機對于研發(fā)和生產(chǎn)先進制程芯片的重要性，傳言中芯國際也沒有就此放棄。此前業(yè)界有消息稱，中芯國際在新任副董事長蔣尚義的"牽線下"，已經(jīng)開始對EUV設備再次進行洽談，但中芯國際并未對此作出官方回應，具體情況如何尚不得知�？梢源_定的是目前美國芯片禁令雖已有所松綁，但對象僅針對成熟制程芯片技術（14納米及以上），EUV光刻機的獲取仍是敏感話題。